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　　台积电将于今年年底前从荷兰光刻机制造商阿斯麦（ASML）接收首批最新的高数值孔径极紫外（高NA EUV）光刻机。这批机器每台成本约为3.5亿美元，将用于生产下一代半导体。（日经新闻）
标签： 光刻 首批 积电
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