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  继英特尔抢先于2024年4月宣布完成业界首台高数值孔径极紫外(High NA EUV)光刻机组装后,台积电竹科园区将于9月底前引进其首台高数值孔径极紫外光刻机,据悉,首部抵台设备的购入价格远低于原定3.5亿欧元的单台报价。台积电之所以可以享受折扣,主要是ASML明显让步,全力协助台积电进机、调校与技术支援等,加速上线时间点,也就是此台主要目的为台积电试用。(台湾电子时报)
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