台積電によると、年末までにASMLから第1陣の高NA EUVリソグラフィを受信する
江仅鱼舜
发表于 2 小时前
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台積電は今年末までにオランダのフォトリソグラフィメーカー、アスマ（ASML）から最新の高開口数極紫外（高NA EUV）フォトリソグラフィの第1陣を受け取る。この機械の1台あたりのコストは約3億5000万ドルで、次世代半導体の生産に使われる。（日経新聞）
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